Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем
Тихонравов А.В., Кочиков И.В., Матвиенко И.А., Исаев Т.Ф., Лукьяненко Д.В., Шарапова С.А., Ягола А.Г.

Предложены оценки, которые могут использоваться для предсказания степени ожидаемого эффекта корреляции ошибок в определении толщин слоев при изготовлении оптических покрытий с использованием широкополосного оптического контроля процесса напыления. Численное определение этих оценок требует проведения статистического анализа, для чего реализован эффективный вычислительный алгоритм моделирования ошибок толщин слоев, который обеспечивает, с одной стороны, случайный характер ошибок, но в то же время адекватно отражает корреляцию ошибок восстановления толщин, вносимую применяемым способом контроля напыления слоев. Показано, что ожидаемая степень проявления корреляции ошибок оценивается случайной величиной, распределение которой близко к логнормальному распределению, а в качестве параметров, характеризующих исследуемый эффект, могут быть взяты два основных параметра этого распределения.

Ключевые слова: обратные задачи, производство оптических покрытий, оптический контроль, компьютерное моделирование.

Название статьи, аннотация и ключевые слова на английском языке

  • Тихонравов А.В. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр, Ленинские горы, 119992, Москва; директор, e-mail: tikh@srcc.msu.ru
  • Кочиков И.В. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр, Ленинские горы, 119992, Москва; вед. науч. сотр., e-mail: igor@kochikov.ru
  • Матвиенко И.А. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Ленинские горы, 119991, Москва; студент, e-mail: matvienko.ivan.a@gmail.com
  • Исаев Т.Ф. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Ленинские горы, 119991, Москва; аспирант, e-mail: temurisaev@gmail.com
  • Лукьяненко Д.В. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Ленинские горы, 119991, Москва; доцент, e-mail: lukyanenko@physics.msu.ru
  • Шарапова С.А. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр, Ленинские горы, 119992, Москва; мл. науч. сотр., e-mail: svet.sharapova@gmail.com
  • Ягола А.Г. – Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Ленинские горы, 119991, Москва; профессор, e-mail: yagola@physics.msu.ru